半導体製造装置配管用大口径PEEKチューブ

半導体洗浄装置の配管にお使いいただいている口径の大きい(外径3.18㎜）PEEKチューブです。

チューブからのメタル成分溶出が極めて少ないこと（例：Cu　0.08μg/L）

チューブ内のパーティクルが極めて少ないこと（例：0.1μmが7.4個/mL）

など、厳しい基準を満たしています。

※他社製のPEEKチューブよりメタル成分溶出がすくない事由はこちらです。

機械強度に優れたPEEKチューブは、フッ素チューブとは段違いの高圧送液（20MPa以上）が可能です。

時間あたり大量の洗浄液を送液することができます。

チューブ両端にはパーティクル混入防止キャップを装着しています。